题 目：半导体设备中的陶瓷材料及部件

报告人：潘伟　教授

单 位：清华大学材料学院

时 间：2026/2/9　09:30

地 点：综合楼二层235报告厅

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附简介：

摘要： 详细介绍国内外半导体设备及陶瓷零部件的发展趋势及国内外发展现状。以及关键卡脖子技术，未来我国国内外半导体设备陶瓷用零部件研究开发及产业所面临的机遇与挑战。 个人简历： 曾任清华大学校务委员会委员。曾先后担任清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室主任，材料科学与工程系系主任，清华大学材料学院党委书记。现兼任中国硅酸盐学会常务理事，中国硅酸盐学会特种陶瓷分会常务副理事长兼秘书长，《Coatings》期刊主编,《陶瓷学报》，《材料导报》，等学术期刊编委。担任欧洲陶瓷学会国际顾问委员会委员，国际梯度功能材料顾问委员会理事，亚洲－澳洲陶瓷联盟理事长。2009年获得日本东京大学工学部“Fellow”称号，2015年被评为国际陶瓷科学院院士。2016年 获得建筑材料科学技术奖<基础研究类>一等奖，2020年获评全国创新争先奖（个人）。 目前主要从事高性能结构陶瓷材料，高温热障涂层材料，透明陶瓷材料、纳半导体设备陶瓷零部件的研究工作。先后发表论文460余篇，其中SCI收录论文343篇，获得授权发明专利26项，著作4本。在相关国际学术大会上做特邀报告三十余次。