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2014年福建物构所前沿领域第八讲
更新日期:2014-04-14  

  492014年福建物构所前沿领域讲座第8讲由物构所陈树强研究员开讲,报告题目是“微电子芯片关键尺寸(CD)测试/分析系统”。 

  陈老师主要介绍了微电子芯片关键尺寸的光学测试和分析系统技术,主要包括系统的软件、硬件以及相关的并行处理加速技术等,并强调该系统技术是IT产业链的主要技术基础,已广泛应用于大规模集成电路等微电子技术的研究、生产环节之中。