题目：半导体设备中的陶瓷材料及部件

　　主讲人：潘伟教授

　　单位：清华大学材料学院

　　时间：2022年3月11号，10:00

　　地点：海西院2号楼，228报告厅

　　报告摘要

　　详细介绍国内外半导体设备及陶瓷零部件的发展趋势及国内外发展现状。以及关键卡脖子技术，未来我国国内外半导体设备陶瓷用零部件研究开发及产业所面临的机遇与挑战。

报告人简介

　　潘伟，现任清华大学校务委员会委员。先后担任过清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室主任，材料科学与工程系系主任，清华大学材料学院党委书记。兼任中国硅酸盐学会常务理事，中国硅酸盐学会特种陶瓷分会常务副理事长兼秘书长，中国复合材料学会理事，《Coatings》,《硅酸盐通报》，《硅酸盐学报》，《过程工程学报》，欧洲陶瓷学会国际顾问委员会委员，国际梯度功能材料顾问委员会理事，亚洲－澳州陶瓷联盟理事长。担任过第六至第十九届全国特种陶瓷学术年会秘书长，组委会主席。第一至第九届中国国际高性能陶瓷材料学术会议组委会主席。第7届国际梯度功能材料学术会议主席。第五届国际陶瓷大会组委会主席。2009年获得日本东京大学工学部“Fellow”称号，2015年被评为国际陶瓷科学院院士。2016年获得建筑材料科学技术奖<基础研究类>一等奖。

　　目前主要从事高温结构陶瓷材料，高温热障涂层材料，透明陶瓷材料、纳米陶瓷材料与器件研究工作。先后主持过国家“863”项目：“高耐磨、耐腐蚀、耐高温部件关键技术”的项目负责人，“陶瓷金卤灯用高强、耐高温腐蚀亚微米透明氧化铝管的制备研究”；国家自然科学基金重点课题“复相陶瓷设计理论”，“远离平衡状态下陶瓷新材料的烧结与微观结构调控”，“透明陶瓷激光材料的设计、计算与性能表征”，“重型燃气轮机热障涂层材料”课题研究。发表论文460余篇，其中SCI收录论文343篇，获得授权发明专利26项，著作4本。在相关国际学术大会上做特邀报告三十余次。